CMOS芯片灰尘检测与清除

设备配置

◆柔性力控无损灰尘清除        

◆采用进口相机和自动变焦系统  

◆1μm以上可动灰尘除去率 100%（裸芯）

◆检测精度可达纳米级别，抗震大理石平台     

◆具备自动上下料装置，NG标记装置，可连线和单机使用

◆设备内部环境清洁度为CLASS 100    

◆可设置复检功能         

◆Underkill ≤ 0.2%              

◆Overkill ≤ 2%

检测类型

◆所有制程的CMOS芯片，尺寸规格：≥2X2mm，≤20X20mm

◆芯片表面，IR上下表面的灰尘和其他缺陷

检测精度

◆0.5um(不包括 ±1 像素尺寸偏差，不包括小于 30 灰度值的缺陷

视觉系统

◆80M x 1 套                             

◆像素分辨率：0.1um 

◆视野：10mm x 10mm            

◆光源：自动可控的多灯系统设计

UPH

◆1500-2200pcs/H

设备参数

◆设备重量：2500KG         

◆设备功率：5KW， AC220 

◆尺寸：W2300mm×D1400mm×H2000mm以下